產(chǎn)品特性

Sensofar 集成式3D共焦白光干涉儀測(cè)量頭S mart的重量約只有S neox的一半(6kg)，加上緊湊的外觀使的它在安裝上有更多選擇，例如可以直接在生產(chǎn)在線安裝做分析等。一般來(lái)說(shuō)，在生產(chǎn)的環(huán)境中通常都會(huì)有震動(dòng)或有害物質(zhì)污染等因素而不適合放置量測(cè)儀器，但Sensofar集成式3D共焦白光干涉儀測(cè)量頭S mart在開(kāi)發(fā)時(shí)已經(jīng)考慮這些因素，一體成形的設(shè)計(jì)使得它能承受外部污染或震動(dòng)影響。

雖然S mart體積較于S neox小，但是同樣保留了白光干涉、相位差干涉、共聚焦(Confocal)、多重聚焦四大功能，在光源部分同樣采用LED光，客戶可以自行彈性選擇要460nm、530nm、630nm或白光等波段。

Sensofar融合共聚焦和干涉技術(shù)讓設(shè)備同時(shí)擁有了粗糙度量測(cè)、三維形貌及薄膜厚度測(cè)量等功能，正是因?yàn)檫@種在技術(shù)融合，讓S mart光學(xué)輪廓儀的性價(jià)比遠(yuǎn)高于其他同類(lèi)型的設(shè)備。

S mart將顯微圖像、共聚焦圖像、共聚焦輪廓、相位差干涉（PSI）、白光干涉（VSI）和高分辨率的薄膜厚度測(cè)量的功能集于一體。這種基于設(shè)計(jì)的Microdisplay技術(shù)，簡(jiǎn)明易學(xué)的軟件接口使您只需要選對(duì)鏡頭，正確對(duì)焦并選好測(cè)量方式就能快速準(zhǔn)確地獲得所需的信息。